快速退火炉

生产厂家：法国

设备型号： AS-One100HT

购置价格：6万元（欧元）

购置年份：2015

放置地点：唐敖庆楼超净实验室

负责人： 王宝续，85168241-8225

设备用途：

应用于半导体材料、器件、新材料等的快速热处理。

技术参数：

1、温度范围：室温~1500℃；

2、最快升温速率：200℃/s；

3、保温时间：30s@1500℃；150s@1400℃；30min@1200℃；

3hours@950℃。